HORIBA UR-Z700 气体压力控制器
数字式自动压力调节器
UR-Z704 系列 DeviceNet? 现场总线通讯模式
应用;
① 应用于智能系统的发展
被一个大型机组所分隔开，比如金属有机气相 沉积(MOCVD)或者液晶溅射化学气相沉积，同时又被质量 流量控制器所控制时，该管路气体流量值的突然改变就会 影响到其他管路。然而，即便在上述情形下，UR 系列的产 品仍可以快速、调整管道中的气体压力，实现稳定 控制，并且保证多个质量流量控制器之间互不干扰。
② 应用于液体气化系统的发展
为 MOCVD (或者High-k CVD) 和其他制程中，可以控制稳 定的源端压力。（主要应用于大气压条件下）
规格
尺寸
